Aplinkos apsaugai skiriamas vis daugiau dėmesio, ypač didėjant miglotiems orams.Švariųjų patalpų inžinerija yra viena iš aplinkos apsaugos priemonių.Kaip naudoti švarių patalpų inžineriją, kad būtų atliktas geras aplinkos apsaugos darbas?Pakalbėkime apie švarių patalpų inžinerijos valdymą.
Temperatūros ir drėgmės kontrolė švarioje patalpoje
Švaraus ploto temperatūra ir drėgmė daugiausiai nustatomi pagal proceso reikalavimus, tačiau vykdant proceso reikalavimus reikia atsižvelgti į žmogaus komfortą.Tobulėjant oro švaros reikalavimams, pastebima tendencija griežtinti procese taikomus temperatūros ir drėgmės reikalavimus.
Paprastai dėl didėjančio apdorojimo tikslumo temperatūrų svyravimų diapazono reikalavimai tampa vis mažesni.Pavyzdžiui, didelio masto integrinių grandynų gamybos litografijos ir ekspozicijos procese stiklo ir silicio plokštelių, naudojamų kaip kaukės, šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumas tampa vis mažesnis.
100 μm skersmens silicio plokštelė sukelia 0,24 μm tiesinį plėtimąsi, kai temperatūra pakyla 1 laipsniu.Todėl būtina pastovi ± 0,1 ℃ temperatūra, o drėgmė paprastai yra maža, nes po prakaitavimo produktas bus užterštas, ypač puslaidininkių dirbtuvėse, kurios bijo natrio.Šio tipo dirbtuvėse temperatūra neturi viršyti 25 ℃.
Per didelė drėgmė sukelia daugiau problemų.Kai santykinė oro drėgmė viršija 55%, ant aušinimo vandens vamzdžio sienelės susidarys kondensatas.Jei tai atsitinka tiksliuose įrenginiuose ar grandinėse, tai gali sukelti įvairių nelaimingų atsitikimų.Kai santykinė oro drėgmė yra 50%, lengvai rūdija.Be to, esant per aukštai drėgmei, prie silicio plokštelės paviršiaus prilipusios dulkės chemiškai adsorbuojasi ant paviršiaus per vandens molekules ore, kurias sunku pašalinti.
Kuo didesnė santykinė oro drėgmė, tuo sunkiau pašalinti sukibimą.Tačiau, kai santykinė oro drėgmė yra mažesnė nei 30%, dalelės taip pat lengvai adsorbuojasi ant paviršiaus dėl elektrostatinės jėgos veikimo, o daugelis puslaidininkinių įtaisų yra linkę sugesti.Optimalus temperatūros diapazonas silicio plokštelių gamybai yra 35-45%.
Oro slėgiskontrolėšvarioje patalpoje
Daugumoje švarių erdvių, siekiant išvengti išorinės taršos įsiskverbimo, būtina palaikyti didesnį vidinį slėgį (statinį slėgį) nei išorinį (statinį slėgį).Slėgio skirtumo palaikymas paprastai turi atitikti šiuos principus:
1. Slėgis švariose erdvėse turi būti didesnis nei nešvariose patalpose.
2. Slėgis aukšto švarumo patalpose turi būti didesnis nei gretimose patalpose, kuriose švaros lygis žemas.
3. Durys tarp švarių patalpų turi būti atidarytos į patalpas, kuriose yra aukštas švaros lygis.
Slėgio skirtumo palaikymas priklauso nuo gryno oro kiekio, kuris turėtų kompensuoti oro nuotėkį iš tarpo esant šiam slėgio skirtumui.Taigi fizinė slėgio skirtumo reikšmė yra atsparumas nuotėkiui (arba infiltracijai) oro srautui per įvairius švarios patalpos tarpus.
Paskelbimo laikas: 2023-07-21