Aplinkos apsaugai skiriama vis daugiau dėmesio, ypač didėjant miglos orams. „Clean Room Engineering“ yra viena iš aplinkos apsaugos priemonių. Kaip naudoti „Clean Room Engineering“, kad būtų galima gerai dirbti aplinkos apsaugoje? Pakalbėkime apie „Clean Room Engineering“ valdymą.
Temperatūros ir drėgmės kontrolė švarioje patalpoje
Švarių erdvių temperatūra ir drėgmė daugiausia nustatoma atsižvelgiant į proceso reikalavimus, tačiau, įvykdant proceso reikalavimus, reikėtų atsižvelgti į žmogaus komfortą. Tobulėjant oro valymo reikalavimams, tendencija yra griežtesnių reikalavimų temperatūrai ir drėgmei.
Kaip bendras principas, dėl didėjančio apdorojimo tikslumo, temperatūros svyravimo diapazono reikalavimai tampa vis mažesni. Pavyzdžiui, didelio masto integruotų grandinių gamybos litografijos ir ekspozicijos procese šiluminio išsiplėtimo koeficiento skirtumas tarp stiklo ir silicio plokštelių, naudojamų kaip kaukės medžiagos, tampa vis mažesnis.
Silicio vaflis, kurio skersmuo 100 μm, sukelia linijinį 0,24 μm išsiplėtimą, kai temperatūra pakyla 1 laipsniu. Todėl būtina pastovi ± 0,1 ℃ temperatūra, o drėgmės vertė paprastai yra žema, nes po prakaitavimo produktas bus užterštas, ypač puslaidininkių dirbtuvėse, bijančiose natrio. Šio tipo seminaras neturėtų viršyti 25 ℃.
Per didelis drėgmė sukelia daugiau problemų. Kai santykinė drėgmė viršija 55%, ant aušinimo vandens vamzdžio sienos susidarys kondensacija. Jei jis įvyksta tikslumuose ar grandinėse, tai gali sukelti įvairias avarijas. Kai santykinė drėgmė yra 50%, ją lengva rūdyti. Be to, kai drėgmė yra per didelė, dulkės, prilipusios prie silicio plokštelės paviršiaus, bus chemiškai adsorbuojamos ant paviršiaus per vandens molekules ore, kurią sunku pašalinti.
Kuo didesnė santykinė drėgmė, tuo sunkiau pašalinti sukibimą. Tačiau kai santykinė drėgmė yra mažesnė nei 30%, dalelės taip pat lengvai adsorbuojamos ant paviršiaus dėl elektrostatinės jėgos veikimo, o daugybė puslaidininkių prietaisų yra linkę į skilimą. Optimalus silicio vaflių gamybos temperatūros diapazonas yra 35–45%.
Oro slėgiskontrolėšvariame kambaryje
Daugeliui švarių erdvių, siekiant užkirsti kelią išorinei taršai įsiveržti, būtina išlaikyti vidinį slėgį (statinį slėgį), didesnį nei išorinis slėgis (statinis slėgis). Slėgio skirtumo palaikymas paprastai turėtų atitikti šiuos principus:
1. Slėgis švariose vietose turėtų būti didesnis nei ne švariose vietose.
2. Slėgis erdvėse, kurių švaros lygis yra aukštas, turėtų būti didesnis nei gretimose vietose, kurių švaros lygis yra žemas.
3. Durys tarp švarių kambarių turėtų būti atidarytos kambariuose, kurių švaros lygis yra aukštas.
Slėgio skirtumo palaikymas priklauso nuo gryno oro kiekio, kuris turėtų sugebėti kompensuoti oro nutekėjimą iš tarpo esant šiam slėgio skirtumui. Taigi fizinė slėgio skirtumo reikšmė yra nuotėkio (arba infiltracijos) oro srauto atsparumas per įvairias spragas švarioje patalpoje.
Pašto laikas: 2012 m. Liepos 21 d