Be griežtos dalelių kontrolės, elektroninėje švarioje patalpoje, kurią atstovauja lustų gamybos cechai, integrinių grandynų nedulkėtos dirbtuvės ir diskų gamybos cechai, taip pat taikomi griežtesni temperatūros ir drėgmės kontrolės, apšvietimo ir mikrošoko reikalavimai.Griežtai pašalinkite statinės elektros poveikį gamybos produktams, kad aplinka atitiktų elektroninių gaminių gamybos proceso reikalavimus švarioje aplinkoje.
Elektroninės švarios patalpos temperatūra ir drėgmė turi būti nustatomos pagal gamybos proceso reikalavimus.Kai gamybos procesui nėra specialių reikalavimų, temperatūra gali būti 20–26°C, o santykinė oro drėgmė – 30–70%.Personalo švarios patalpos ir svetainės temperatūra gali būti 16-28 ℃.Pagal Kinijos nacionalinį standartą GB-50073, kuris atitinka tarptautinius ISO standartus, tokio tipo švarių patalpų švaros lygis yra 1-9.Tarp jų, 1-5 klasės, oro srauto modelis yra vienakryptis arba mišrus srautas;6 klasės oro srauto modelis yra nevienpusis srautas ir oro kaita yra 50-60 kartų per valandą;7 klasės oro srauto tipas yra nevienpusis srautas, o oro kaita 15-25 k./h;8-9 klasės oro srauto tipas yra nevienpusis srautas, oro kaita 10-15 kartų/val.
Pagal dabartines specifikacijas triukšmo lygis 10 000 klasės elektroninėje švarioje patalpoje neturi būti didesnis nei 65 dB(A).
1. Visas vertikalaus srauto švarios patalpos santykis elektroninėje švarioje patalpoje turi būti ne mažesnis kaip 60%, o horizontalaus vienakrypčio srauto švarios patalpos santykis neturi būti mažesnis nei 40%, kitaip tai bus dalinis vienkryptis srautas.
2. Statinio slėgio skirtumas tarp elektroninės švarios patalpos ir lauko turi būti ne mažesnis kaip 10Pa, o statinio slėgio skirtumas tarp švarių ir nešvarių zonų su skirtingu oro švarumu turi būti ne mažesnis kaip 5Pa.
3. Gryno oro kiekis 10 000 klasės elektroninėje švarioje patalpoje turėtų atitikti šių dviejų elementų vertę.
4. Kompensuokite patalpų ištraukiamo oro tūrio ir šviežio oro tūrio sumą, reikalingą teigiamam patalpų slėgio dydžiui palaikyti.
5. Užtikrinti, kad į švarią patalpą tiekiamas gryno oro kiekis vienam asmeniui per valandą būtų ne mažesnis kaip 40 kvadratinių metrų.
Paskelbimo laikas: 2024-08-08