Be griežto dalelių kontrolės, elektroninė švara, kurią atstovauja lustų gamybos dirbtuvės, integruotos grandinės be dulkių dirbtuvės ir disko gamybos dirbtuvės, taip pat turi griežtesnius reikalavimus temperatūros ir drėgmės kontrolei, apšvietimui ir mikrocokui. Griežtai pašalinkite statinės elektros energijos poveikį gamybos produktams, kad aplinka galėtų atitikti elektroninių produktų gamybos proceso reikalavimus švarioje aplinkoje.
Reikėtų nustatyti elektroninės švarios patalpos temperatūrą ir drėgmę pagal gamybos proceso reikalavimus. Kai nėra specifinių reikalavimų gamybos procesui, temperatūra gali būti 20–26 ° C, o santykinė drėgmė-30–70%. Personalo švaros ir svetainės temperatūra gali būti 16–28 ℃. Remiantis Kinijos nacionaliniu standartu GB-50073, kuris atitinka tarptautinius ISO standartus, šio tipo švaraus kambario švaros lygis yra 1–9. Tarp jų, 1-5 klasė, oro srauto modelis yra vienkryptis srautas arba mišrus srautas; 6 klasės oro srauto modelis yra nežiūrinčių srautų, o oro pokytis yra 50–60 kartų/h; 7 klasės oro srauto tipas yra neasandinis srautas, o oro pokytis yra 15–25 kartus/h; 8-9 klasės Oro srauto tipas yra neasandinis srautas, oro pokytis yra 10–15 kartų/h.
Remiantis dabartinėmis specifikacijomis, triukšmo lygis 10 000 klasėje elektroninėje švarioje patalpoje neturėtų būti didesnis kaip 65 dB (a).
1. Visas vertikalaus srauto švarios patalpos santykis elektroninėje švarioje patalpoje neturėtų būti mažesnis kaip 60%, o horizontalus vienkryptis srautas Švarus kambarys neturėtų būti mažesnis kaip 40%, kitaip tai bus dalinis vienkryptis srautas.
2. Statinis slėgio skirtumas tarp elektroninio švaraus ir lauko lauko neturėtų būti mažesnis kaip 10PA, o statinis slėgio skirtumas tarp švarių ir ne valymo vietų, kuriose yra skirtingas oro švara, neturėtų būti mažesnis kaip 5PA.
3. Gryno oro kiekis 10000 klasės elektroninėje švaroje turėtų būti šių dviejų elementų vertė.
4. Kompensuokite vidaus išmetimo oro tūrio ir gryno oro tūrio sumą, reikalingą norint išlaikyti vidaus teigiamo slėgio vertę.
5. Įsitikinkite, kad gryno oro kiekis, skirtas valomam kambariui vienam asmeniui per valandą, yra ne mažesnis kaip 40 kvadratinių metrų.
Pašto laikas: 2012-08-08