Lustų išeiga mikroschemų gamybos pramonėje yra glaudžiai susijęs su ant lusto deponuotų oro dalelių dydžiu ir skaičiumi. Geros oro srauto organizavimas gali paimti daleles, susidarančias iš dulkių šaltinių iš švaraus kambario, ir užtikrinti švarų švarą. T. y., Oro srauto organizacija „Cleanroom“ vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį gaminant lustų gamybą. Tikslai, kuriuos reikia pasiekti projektuojant švaraus kambario oro srauto organizavimą, yra šie: sumažinti ar pašalinti sūkurių sroves srauto lauke, kad būtų išvengta kenksmingų dalelių sulaikymo; išlaikyti tinkamą teigiamo slėgio gradientą, kad būtų išvengta kryžminio užteršimo.
Remiantis švaraus kambario principu, jėgos, veikiančios daleles, yra masės jėga, molekulinė jėga, traukos tarp dalelių, oro srauto jėga ir kt.
Oro srauto jėga: nurodo oro srauto jėgą, kurią sukelia tiekimas ir grįžtamasis oro srautas, šiluminis konvekcinis oro srautas, dirbtinis sujaudinimas ir kiti oro srautai su tam tikru srauto greičiu, kad būtų galima nešiotis daleles. Švaraus kambario aplinkos technologijų kontrolei svarbiausias veiksnys yra oro srauto jėga.
Eksperimentai parodė, kad judant oro srautui, dalelės seka oro srautą beveik tokiu pat greičiu. Dalelių būklė ore lemia oro srauto pasiskirstymas. Pagrindinis oro srauto poveikis patalpų dalelėms apima: oro tiekimo oro srautą (įskaitant pirminį oro srautą ir antrinį oro srautą), oro srautą ir šilumos konvekcijos oro srautą, kurį sukelia vaikščiojantys žmonės, ir oro srauto poveikis dalelėms, kurias sukelia proceso operacijos ir pramoninė įranga. Skirtingi oro tiekimo būdai, greičio sąsajos, operatoriai ir pramoninė įranga, sukelti reiškiniai ir kt. Švarų kambariuose yra visi veiksniai, turintys įtakos švaros lygiui.
1. Oro tiekimo metodo įtaka
(1) oro tiekimo greitis
Norint užtikrinti vienodą oro srautą, oro tiekimo greitis vienkryptyje esančiame švaroje turi būti vienodas; Negyvoji zona oro tiekimo paviršiuje turi būti maža; Slėgio kritimas HEPA filtre taip pat turi būti vienodas.
Oro tiekimo greitis yra vienodas: tai yra, oro srauto nelygumas kontroliuojamas ± 20%.
Oro tiekimo paviršiuje yra mažiau negyvos vietos: ne tik turėtų būti sumažintas HEPA rėmo plokštumos plotas, bet dar svarbiau, kad būtų galima supaprastinti modulinį FFU, kad būtų supaprastintas nereikalingas rėmas.
Norint užtikrinti, kad oro srautas būtų vertikalus ir vienkryptis, filtro slėgio kritimo pasirinkimas taip pat yra labai svarbus, todėl reikia, kad slėgio nuostoliai filtruose negalėtų būti šališkas.
(2) FFU sistemos ir ašinio srauto ventiliatoriaus sistemos palyginimas
FFU yra oro tiekimo įrenginys su ventiliatoriaus ir HEPA filtru. Oras išsiurbia išcentrinį FFU ventiliatorių ir paverčia dinaminį slėgį į statinį slėgį oro kanale. Jis tolygiai išpūtė HEPA filtru. Oro tiekimo slėgis ant lubų yra neigiamas slėgis. Tokiu būdu dulkės nutekės į švarią patalpą, kai pakeisite filtrą. Eksperimentai parodė, kad FFU sistema yra pranašesnė už ašinio srauto ventiliatoriaus sistemą, atsižvelgiant į oro išleidimo angos vienodumą, oro srauto paralelizmą ir ventiliacijos efektyvumo indeksą. Taip yra todėl, kad geresnis FFU sistemos oro srauto paralelizmas. FFU sistemos naudojimas gali pagerinti oro srauto organizavimą švarioje patalpoje.
(3) pačios FFU struktūros įtaka
FFU daugiausia sudaro ventiliatoriai, filtrai, oro srauto vadovai ir kiti komponentai. HEPA filtras yra svarbiausia „Clean Room“ garantija, kad būtų galima pasiekti reikiamą švarą, reikalingą projektavimui. Filtro medžiaga taip pat paveiks srauto lauko vienodumą. Kai prie filtro išleidimo angos pridedama šiurkšti filtro medžiaga arba srauto plokštė, išleidimo srauto lauką galima lengvai pagaminti vienodai.
2. Greičio sąsajos poveikis su skirtinga švara
Tame pačiame švariame kambaryje, tarp darbo zonos ir ne darbo ploto, su vertikaliu vienkrypiu srautu, dėl oro greičio skirtumo HEPA dėžutėje, sąsajoje įvyks mišrus sūkurinis efektas, o ši sąsaja taps neramumu oro srauto zona. Oro turbulencijos intensyvumas yra ypač stiprus, o dalelės gali būti perduodamos į įrangos mašinos paviršių ir užteršti įrangą bei vaflius.
3. Poveikis personalui ir įrangai
Kai švarus kambarys tuščias, oro srauto charakteristikos kambaryje paprastai atitinka projektavimo reikalavimus. Kai įranga patenka į švarų kambarį, žmonės juda ir gabenami produktai, neišvengiamai kliūtys oro srauto organizacijai, pavyzdžiui, aštrūs taškai, išsikišantys iš įrangos mašinos. Kampuose ar kraštuose dujos nukreips, kad susidarytų turbulentinis srauto plotas, o skysčio plote nebus lengvai nunešamos įeinančias dujas, taigi sukels taršą.
Tuo pačiu metu mechaninės įrangos paviršius bus pašildytas dėl nuolatinio veikimo, o temperatūros gradientas sukels Reflovo plotą šalia mašinos, o tai padidina dalelių kaupimąsi Reflow srityje. Tuo pačiu metu dėl aukštos temperatūros dalelės lengvai pabėgs. Dvigubas efektas sustiprina bendrą vertikalųjį sluoksnį. Sunku valdyti srauto švarą. Švaraus kambario operatorių dulkės gali lengvai prilipti prie vaflių šiose pakopos vietose.
4. Grįžtančių oro grindų įtaka
Kai per grindis praeina grįžtamojo oro pasipriešinimas, slėgio skirtumas atsiras, todėl oras tekės mažo pasipriešinimo kryptimi, o vienodas oro srautas nebus gaunamas. Dabartinis populiarus projektavimo būdas yra naudoti padidėjusias grindis. Kai padidėjusių grindų atidarymo santykis yra 10%, oro srauto greitį galima tolygiai paskirstyti vidaus darbinio aukštyje. Be to, norint sumažinti taršos šaltinį ant grindų, reikia skirti griežtą dėmesį.
5. Indukcijos reiškinys
Vadinamasis indukcijos reiškinys nurodo oro srauto generavimo reiškinį priešinga kryptimi nuo vienodo srauto, sukeldamas dulkes, susidarančias kambaryje ar dulkėse gretimose užterštose vietose iki vėjo pusės, todėl dulkės užterštos. Galimi sukelti reiškiniai apima šiuos dalykus:
(1) Akloji plokštelė
Švarioje patalpoje su vertikaliu vienpusio srauto srautu dėl jungčių ant sienos paprastai yra didelių aklųjų plokščių, kurios sukels neramumų srautą ir vietinį atgalinį srautą.
(2) lempos
Apšvietimo įrenginiai švarūs kambaryje turės didesnį poveikį. Kadangi fluorescencinės lempos šiluma sukelia oro srautą, fluorescencinė lemputė netaps neramia sritimi. Paprastai švarios patalpos lempos yra suprojektuotos ašaros formos, kad būtų sumažintas lempų poveikis oro srauto organizacijai.
(3) tarpai tarp sienų
Kai tarp pertvarų sienų ar lubų yra tarpų, kuriuose yra skirtingi švaros reikalavimai, dulkės iš teritorijų, kuriose yra žemos švaros reikalavimai, gali būti perkeltos į gretimus plotus, kuriuose yra didelių švaros reikalavimų.
(4) Atstumas tarp mechaninės įrangos ir grindų ar sienos
Jei tarpas tarp mechaninės įrangos ir grindų ar sienos yra nedidelis, įvyks atkovotas turbulencija. Todėl palikite tarpą tarp įrangos ir sienos ir pakelkite mašinos platformą, kad išvengtumėte tiesioginio kontakto su žeme.
Pašto laikas: 2012 m. Lapkričio 02 d