IC gamybos pramonės lusto derlingumo greitis yra glaudžiai susijęs su ant lusto deponuotų oro dalelių dydžiu ir skaičiumi. Gera oro srauto organizacija gali paimti daleles, kurias sukuria dulkių šaltinis nuo švarios patalpos, kad būtų užtikrintas švaraus kambario švara, tai yra, oro srauto organizacija švarioje patalpoje vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį gaminant IC gamybą. Oro srauto organizacijos projektavimas švariame kambaryje turi pasiekti šiuos tikslus: sumažinti arba pašalinti sūkurinę srovę srauto lauke, kad būtų išvengta kenksmingų dalelių sulaikymo; Išlaikykite tinkamą teigiamo slėgio gradientą, kad būtų išvengta kryžminio užteršimo.
Oro srauto jėga
Remiantis švaraus kambario principu, jėgos, veikiančios ant dalelių, apima masės jėgą, molekulinę jėgą, trauką tarp dalelių, oro srauto jėgos ir kt.
Oro srauto jėga: nurodo oro srauto, kurį sukelia pristatymas, grįžta oro srautas, šiluminis konvekcinis oro srautas, dirbtinis maišymas ir kiti oro srautai su tam tikru srauto greičiu, kad būtų galima nešiotis daleles. Svarbiausias veiksnys yra techninė švarios kambario aplinkos kontrolė.
Eksperimentai parodė, kad oro srauto judėjime dalelės beveik tokiu pat greičiu seka oro srauto judesiu. Oro dalelių būseną lemia oro srauto pasiskirstymas. Oro srautai, turintys įtakos patalpų dalelėms, daugiausia apima: oro tiekimo oro srautą (įskaitant pirminį oro srautą ir antrinį oro srautą), oro srautą ir šilumos konvekcijos oro srautą, kurį sukelia vaikščiojantys žmonės, ir oro srauto, kurį sukelia proceso veikimas ir pramoninė įranga. Skirtingi oro tiekimo būdai, greičio sąsajos, operatoriai ir pramoninė įranga bei sukelti reiškiniai švariose patalpose yra visi veiksniai, darantys įtaką švaros lygiui.
Veiksniai, darantys įtaką oro srauto organizavimui
1. Oro tiekimo metodo įtaka
(1). Oro pasiūlos greitis
Norint užtikrinti vienodą oro srautą, oro tiekimo greitis turi būti vienodas vienkryptyje švarioje patalpoje; Oro tiekimo paviršiaus negyvoji zona turi būti maža; Ir slėgio kritimas ULPA taip pat turi būti vienodas.
Vienodas oro tiekimo greitis: tai yra, oro srauto nelygumas kontroliuojamas ± 20%.
Mažiau negyvos zonos oro tiekimo paviršiuje: ne tik turėtų būti sumažintas ULPA rėmo plokštumos plotas, bet dar svarbiau, kad būtų galima supaprastinti modulinį FFU, kad būtų supaprastintas nereikalingas rėmas.
Norint užtikrinti vertikalų vienkryptį oro srautą, filtro slėgio kritimo pasirinkimas taip pat yra labai svarbus, todėl reikia, kad slėgio nuostolis filtre negalėtų nukrypti.
(2). Palyginimas tarp FFU sistemos ir ašinio srauto ventiliatoriaus sistemos
FFU yra oro tiekimo įrenginys su ventiliatoriumi ir filtru (ULPA). Po to, kai orą įsiurbia išcentrinis FFU ventiliatorius, dinaminis slėgis paverčiamas statiniu slėgiu oro kanale ir tolygiai išpūstas ULPA. Oro tiekimo slėgis ant lubų yra neigiamas slėgis, todėl, kai filtras bus pakeistas, dulkės nenuils į švarią patalpą. Eksperimentai parodė, kad FFU sistema yra pranašesnė už ašinio srauto ventiliatoriaus sistemą, atsižvelgiant į oro išleidimo angos vienodumą, oro srauto paralelizmą ir ventiliacijos efektyvumo indeksą. Taip yra todėl, kad geresnis FFU sistemos oro srauto paralelizmas. Naudojant FFU sistemą, oro srautas gali būti geriau organizuotas.
(3). Pačios FFU struktūros įtaka
FFU daugiausia sudaro ventiliatoriai, filtrai, oro srauto kreipiamieji įrenginiai ir kiti komponentai. Itin didelio efektyvumo filtro ULPA yra svarbiausia garantija, ar švarus kambarys gali pasiekti reikiamą dizaino švarą. Filtro medžiaga taip pat paveiks srauto lauko vienodumą. Kai prie filtro išleidimo angos pridedama šiurkščiavilnių filtrų medžiaga arba laminarinės srauto plokštė, išleidimo srauto lauką galima lengvai pagaminti vienodai.
2. Skirtingų greičio sąsajų poveikis švaros sąsajoms
Tame pačiame švariame kambaryje, tarp vertikaliojo vienkrypio srauto darbo zonos ir ne darbo ploto, dėl oro greičio skirtumo ULPA išleidimo angoje, sąsajoje bus sukurtas mišrus sūkurinis efektas, o ši sąsaja taps neramumu Oro srauto zona, kurioje ypač didelis oro turbulencijos intensyvumas. Dalelės gali būti perduodamos į įrangos paviršių ir užteršti įrangą bei vaflius.
3. Personalo ir įrangos poveikis
Kai švarus kambarys tuščias, oro srauto charakteristikos kambaryje paprastai atitinka projektavimo reikalavimus. Kai įranga patenka į švarų kambarį, personalo judėjimas ir produktai bus perduodami, neišvengiamai kliūtys oro srauto organizacijai. Pvz., Kyšojančiuose įrangos kampuose ar kraštuose dujos bus nukreiptos į turbulentinę zoną, o skysčio zonoje nėra lengvai nunešamos dujos, todėl sukelia taršą. Tuo pačiu metu įrangos paviršius įkaiss dėl nuolatinio veikimo, o temperatūros gradientas sukels Reflovo zoną šalia mašinos, o tai padidins dalelių kaupimąsi Reflow zonoje. Tuo pačiu metu dėl aukštos temperatūros dalelės lengvai pabėgs. Dvigubas efektas apsunkina sunkumą kontroliuoti bendrą vertikalią laminarinį švarą. Švaraus kambario operatorių dulkes labai lengva prilipti prie vaflių šiose Reflovo zonose.
4. Grįžtančių oro grindų įtaka
Kai per grindis sklinda grįžtamojo oro pasipriešinimas, bus sukurtas slėgio skirtumas, kad oras tekėtų mažesnio pasipriešinimo kryptimi, o vienodas oro srautas nebus pasiektas. Dabartinis populiarus projektavimo būdas yra naudoti padidėjusias grindis. Kai padidėjusių grindų atidarymo greitis yra 10%, oro srauto greitis darbinio kambario aukštyje gali būti tolygiai paskirstytas. Be to, norint sumažinti grindų taršos šaltinį, reikia skirti griežtą dėmesį.
5. Indukcijos reiškinys
Vadinamasis indukcijos reiškinys nurodo reiškinį, kad susidaro oro srautas priešinga vienodo srauto kryptimi, o kambaryje susidarančios dulkės arba dulkės gretimoje užterštoje srityje yra sukeltos iki vėjo pusės, kad dulkės, kad dulkės, kad dulkės dulkės, kad dulkės dulkės, kad dulkės dulkės būtų. gali užteršti lustą. Toliau pateikiami galimi indukcijos reiškiniai:
(1). Akloji plokštelė
Švarioje patalpoje, kurioje yra vertikalus vienkryptis srautas, dėl jungčių ant sienos, paprastai yra didelių žaliuzių plokštelių, kurios sukels vietinio grįžimo srauto turbulenciją.
(2). Lempos
Apšvietimo įrenginiai švaroje turės didesnį poveikį. Kadangi fluorescencinių lempų šiluma sukelia oro srautą, po fluorescencinėmis lempomis nebus turbulentinės srities. Paprastai švarios patalpos lempos yra suprojektuotos ašaros formos, kad būtų sumažintas lempų poveikis oro srauto organizacijai.
(3.) tarpai tarp sienų
Kai tarp pertvarų yra tarpų, turinčių skirtingą švaros lygį arba tarp pertvarų ir lubų, dulkės iš teritorijos, kuriose yra mažos švaros reikalavimai, gali būti perkeltos į gretimą plotą, kuriam reikalingi dideli švaros reikalavimai.
(4). Atstumas tarp mašinos ir grindų ar sienos
Jei tarpas tarp mašinos ir grindų ar sienos yra labai mažas, tai sukels atgimimo neramumus. Todėl palikite tarpą tarp įrangos ir sienos ir pakelkite mašiną, kad išvengtumėte mašinos tiesiogiai paliesti žemę.
Pašto laikas: 2012-05-05