„Clean Room“ yra specialus uždaras pastatas, pastatytas kontroliuoti ore esančias daleles kosmose. Apskritai, švarus kambarys taip pat kontroliuos aplinkos veiksnius, tokius kaip temperatūra ir drėgmė, oro srauto judėjimo modeliai, vibracija ir triukšmas. Taigi, ką sudaro švarus kambarys? Mes padėsime sutvarkyti penkias dalis:
1. Skyrius
Švaraus kambario skyrius yra padalintas į tris dalis: „Keisti kambarį“, 1000 klasės švarų plotą ir 100 klasės švarų plotą. Pakeiskite kambarį ir 1000 klasės švarų plotą yra su oro dušais. Švaraus kambario ir lauko zonoje yra oro dušas. „Pass Box“ naudojama daiktams, įeinantiems ir išeinantiems iš švaraus kambario. Kai žmonės įeina į švarų kambarį, jie pirmiausia turi praeiti pro oro dušą, kad išpūstų žmogaus kūno nešamas dulkes ir sumažinti dulkes, kurias personalo kambarys atvežė į švarų kambarį. Pass dėžutė pūsta iš daiktų dulkių, kad būtų pašalintas dulkes.
2. Oro sistemos srauto diagrama
Sistema naudoja naują oro kondicionieriaus + FFU sistemą:
(1). Gryno oro kondicionavimo dėžutės struktūra
(2) .ffu ventiliatoriaus filtro blokas
1000 klasės filtre naudojamas HEPA, kurio filtravimo efektyvumas yra 99,997%, o 100 klasės „Clean Room“ filtre naudojamas ULPA, kurio filtravimo efektyvumas yra 99,9995%.
3. Vandens sistemos srauto diagrama
Vandens sistema yra padalinta į pirminę ir antrinę pusę.
Vandens temperatūra iš pirminės pusės yra 7–12 ℃, kuri tiekiama į oro kondicionavimo dėžę ir ventiliatoriaus ritės bloką, o vandens temperatūra antrinėje pusėje yra 12–17 ℃, kuri tiekiama sausoms ritės sistemai. Vanduo pirminėje ir antrinėje pusėje yra dvi skirtingos grandinės, sujungtos plokštelės šilumokaičiu.
Plokštės šilumokaičio principas
Sausa ritė: nekondensuojanti ritė. Kadangi valymo dirbtuvių temperatūra yra 22 ℃, o jos rasos taško temperatūra yra apie 12 ℃, 7 ℃ vanduo negali tiesiogiai patekti į švarų kambarį. Todėl vandens temperatūra, patenkanti į sausą ritę, yra tarp 12–14 ℃.
4. Valdymo sistemos (DDC) Temperatūra: sausos ritės sistemos valdymas
Drėgmė: Oro kondicionierius reguliuoja oro kondicionieriaus ritės vandens įleidimo tūrį, kontroliuodamas trijų krypčių vožtuvo angą per jausmą.
Teigiamas slėgis: Oro kondicionieriaus reguliavimas, atsižvelgiant į statinio slėgio jutimo signalą, automatiškai sureguliuoja oro kondicionieriaus variklio keitiklio dažnį ir taip sureguliuoja gryno oro, patenkančio į švarų patalpą, kiekį.
5. Kitos sistemos
Ne tik oro kondicionavimo sistema, švarių kambarių sistema taip pat apima vakuumą, oro slėgį, azotą, gryną vandenį, nuotekas, anglies dioksido sistemą, proceso išmetimo sistemą ir bandymo standartus:
(1). Oro srauto greitis ir vienodumo bandymai. Šis bandymas yra būtina sąlyga kitam švaraus kambario bandymo efektui. Šio bandymo tikslas yra išsiaiškinti vidutinį oro srautą ir vienareikšmiškos srauto darbo zonos vienodumą švarioje patalpoje.
(2). Sistemos ar kambario oro tūrio aptikimas.
(3). Vidaus švaros aptikimas. Švaros aptikimas yra nustatyti oro valymo lygį, kurį galima pasiekti švarioje patalpoje, o dalelių skaitiklis gali būti naudojamas jį aptikti.
(4). Savarankiško valymo laiko nustatymas. Nustatant savarankiško valymo laiką, galima nustatyti galimybę atkurti originalų švaraus kambario švarą, kai gali būti nustatyta užterštumas švaraus kambario viduje.
(5). Oro srauto modelio aptikimas.
(6). Triukšmo aptikimas.
(7). Apšvietimo nustatymas. Apšvietimo bandymo tikslas yra nustatyti švaraus kambario apšvietimo lygį ir apšvietimo vienodumą.
(8). Vibracijos aptikimas. Vibracijos aptikimo tikslas yra nustatyti kiekvieno ekrano vibracijos amplitudę švarioje patalpoje.
(9). Temperatūros ir drėgmės nustatymas. Temperatūros ir drėgmės nustatymo tikslas yra gebėjimas koreguoti temperatūrą ir drėgmę per tam tikras ribas. Its content includes detecting the supply air temperature of clean room, detecting the air temperature at representative measuring points, detecting the air temperature at the center point of clean room, detecting air temperature at sensitive components, detecting the relative temperature of indoor air, and detecting Grįžtanti oro temperatūra.
(10). Bendras oro tūris ir gryno oro tūris.
Pašto laikas: 2012 m. Sausio 24 d