1. Dulkių dalelių pašalinimas be dulkių, be švaraus kambario
Pagrindinė švaraus kambario funkcija yra kontroliuoti atmosferos švarą, temperatūrą ir drėgmę, kuriai gaminiai (pvz., Silicio traškučiai ir kt.) Yra veikiami, kad produktus būtų galima gaminti ir gaminti geroje aplinkos erdvėje. Mes vadiname šią erdvę kaip švarų kambarį. Remiantis tarptautine praktika, švaros lygį daugiausia lemia dalelių skaičius viename kubinio metro oro, kurio skersmuo didesnis nei klasifikavimo standartas. Kitaip tariant, vadinamosios dulkės nėra 100% be dulkių, o kontroliuojama labai mažame įrenginyje. Žinoma, šio standarto dulkių standarto dalelės jau yra labai mažos, palyginti su įprastomis dulkėmis, kurias matome, tačiau optinėms konstrukcijoms net ir šiek tiek dulkių turės labai didelis neigiamas poveikis, todėl be dulkių yra neišvengiamas reikalavimas Gaminant optinės struktūros produktus.
Kontroliuojant dulkių dalelių, kurių dalelių dydis yra didesnis nei arba lygus 0,5 mikronų kubiniam metrui, skaičių iki mažiau nei 3520/kubinio metro, pasieks tarptautinio dulkių be dulkių standarto A klasę. Lusto lygio gamyboje ir apdorojime naudojamas standartas be dulkių turi didesnius dulkių reikalavimus nei A klasė, o toks aukštas standartas daugiausia naudojamas gaminant kai kuriuos aukštesnio lygio lustus. Dulkių dalelių skaičius griežtai kontroliuojamas 35 200 už kubinį metrą, kuris švarių kambarių pramonėje paprastai žinomas kaip B klasė.
2. Trijų rūšių švaraus kambario būsenos
Tuščias švarus kambarys: pastatytas švaraus kambario įrenginys ir kurį galima naudoti. Jis turi visas susijusias paslaugas ir funkcijas. Tačiau įrenginyje nėra jokios įrangos, kurią valdo operatoriai.
Statinis švarus kambarys: „Clean Room“ įrenginys, turintis visas funkcijas, tinkamus nustatymus ir montavimą, kuris gali būti naudojamas pagal nustatymus arba naudojamas, tačiau įrenginyje nėra operatorių.
Dinaminis švarus kambarys: įprasto naudojimo švarus kambarys, su visomis aptarnavimo funkcijomis, įranga ir personalu; Jei reikia, galima atlikti normalų darbą.
3. Valdymo elementai
(1). Gali pašalinti ore plūduriuojančias dulkių daleles.
(2). Gali užkirsti kelią dulkių dalelių susidarymui.
(3). Temperatūros ir drėgmės kontrolė.
(4). Slėgio reguliavimas.
(5). Kenksmingų dujų pašalinimas.
(6). Struktūrų ir skyrių oro sandarumas.
(7). Statinės elektros prevencija.
(8). Elektromagnetinių trukdžių prevencija.
(9). Saugos veiksnių svarstymas.
(10). Energijos taupymo svarstymas.
4. Klasifikacija
Turbulentinis srauto tipas
Oras patenka į švarų kambarį nuo oro kondicionieriaus dėžutės per oro kanalą ir oro filtrą (HEPA) švarioje patalpoje ir grąžinamas iš pertvaros sienų plokščių arba padidėjusių grindų abiejose švaraus kambario pusėse. Oro srautas nejuda linijiniu būdu, bet pateikia netaisyklingą turbulentinę ar sūkurio būseną. Šis tipas tinka 1 000–100 000 klasei.
Apibrėžimas: Švarus kambarys, kuriame oro srautas teka nelygiu greičiu ir nėra lygiagretus, lydimas atbulinės eigos ar sūkurinės srovės.
Principas: Turbulentiniai švarūs kambariai priklauso nuo oro tiekimo oro srauto, kad nuolat praskiestų patalpų orą ir palaipsniui praskiestų užterštą orą, kad pasiektų švarą (turbulentiniai švarūs patalpos paprastai suprojektuotos siekiant švaros lygio, viršijančio nuo 1000 iki 300 000).
Savybės: Neramumai švarūs kambariai priklauso nuo kelių ventiliacijos, kad būtų pasiektas švara ir švara. Vėdinimo pokyčių skaičius nustato apibrėžimo valymo lygį (kuo daugiau ventiliacijos pokyčių, tuo didesnis švaros lygis)
(1) Savarankiško išsivystymo laikas: nurodo laiką, kai švarus kambarys pradeda tiekti orą į švarią patalpą pagal suprojektuotą ventiliacijos numerį ir dulkių koncentraciją kambaryje pasiekia suprojektuotą švaros lygio 1000 klasės. Tikimasi, kad daugiau kaip 20 minučių (15 minučių gali būti naudojama apskaičiavimui). Tikimasi skaičiavimas)
(2) Ventiliacijos dažnis (suprojektuotas pagal aukščiau pateiktus savaiminio valymo laiko reikalavimus) 1 000 klasė: 43,5–55,3 kartų per valandą (standartas: 50 kartų/val.) Klasė 10 000: 23,8–28,6 kartus/val. (Standartas: 25 kartus/valanda) ) 100 000 klasė: 14,4–19,2 kartų per valandą (standartas: 15 kartų per valandą)
Privalumai: Paprasta konstrukcija, mažos sistemos konstrukcijos išlaidos, lengvai išplėsta švara kambariu, kai kuriose specialios paskirties vietose, švarus suolelis be dulkių, gali būti naudojamas norint pagerinti „Clean Room“ pažymį.
Trūkumai: Dulkių dalelės, kurias sukelia turbulencija, plūduriuoja patalpose ir jas sunku išleisti, o tai gali lengvai užteršti proceso produktus. Be to, jei sistema sustabdoma ir tada suaktyvinama, reikiamam švaros pasiekimui dažnai užtrunka ilgai.
Laminarinis srautas
Laminarinis srautas oras juda vienodoje tiesėje. Oras patenka į kambarį per filtrą su 100% aprėpties greičiu ir grąžinamas per padidėjusius grindis arba pertvarų lentas iš abiejų pusių. Šis tipas tinka naudoti švarių kambarių aplinkoje, kurioje yra aukštesnių švarių kambarių klasės, paprastai 1 ~ 100 klasė. Yra du tipai:
(1) Horizontalusis laminarinis srautas: horizontalus oras iš filtro išpūsta viena kryptimi ir grąžinamas grįžtančio oro sistemos ant priešingos sienos. Dulkės išleidžiamos lauke su oro kryptimi. Paprastai tarša yra rimtesnė pasroviui.
Privalumai: Paprasta struktūra per trumpą laiką po operacijos gali tapti stabili.
Trūkumai: Statybos kaina yra didesnė nei turbulentinis srautas, o patalpų patalpoje nėra lengva išplėsti.
(2) Vertikalusis laminarinis srautas: Kambario lubos yra visiškai padengtos ULPA filtrais, o oras pūstas iš viršaus į apačią, o tai gali pasiekti didesnę švarą. Proceso metu ar personalo dulkes galima greitai išleisti lauke, nepaveikdami kitų darbo vietų.
Privalumai: Lengva valdyti, stabilią būseną galima pasiekti per trumpą laiką nuo operacijos pradžios ir lengvai paveikti veiklos būsena ar operatoriai.
Trūkumai: didelės statybos išlaidos, sunkiai lanksčiai naudojami erdvėje, lubų pakabos užima daug vietos ir varginanti filtrų remontui ir pakeitimui.
Kompozicinis tipas
Kompozicinis tipas yra sujungti arba naudoti turbulentinio srauto tipą ir laminarinį srautą kartu, o tai gali suteikti vietinį ypač švarų orą.
(1) Švarus tunelis: Naudokite HEPA arba ULPA filtrus, kad padengtumėte 100% proceso ar darbo vietos, kad padidintumėte švaros lygį iki aukštesnės nei 10 klasės, o tai gali sutaupyti montavimo ir eksploatavimo išlaidas.
Šis tipas reikalauja, kad operatoriaus darbo plotas būtų išskirtas nuo produkto ir mašinos priežiūros, kad būtų išvengta įtakos darbui ir kokybei mašinos priežiūros metu.
Švarūs tuneliai turi dar du pranašumus: A. lengva lanksčiai plėstis; B. Įrangos priežiūrą galima lengvai atlikti priežiūros srityje.
(2) Švarus vamzdis: Apsupkite ir išvalykite automatinę gamybos liniją, per kurią produkto srautas praeina, ir padidinkite švaros lygį iki aukščiau esančios 100 klasės. Kadangi produkto, operatoriaus ir dulkių generuojanti aplinka yra išskirtos vienas nuo kito, nedidelis kiekis kiekio Oro pasiūla gali pasiekti gerą švarą, kuris gali sutaupyti energijos ir labiausiai tinka automatinėms gamybos linijoms, kurioms nereikia rankų darbo. Tai taikoma farmacijos, maisto ir puslaidininkių pramonei.
(3) švari vieta: produkto proceso ploto švaros lygis neraminiame švariame kambaryje, kurio švaraus kambario lygis yra 10 000 ~ 100 000, padidėja iki 10 ~ 1000 arba didesnė gamybos tikslais; Šios kategorijai priklauso švarūs darbininkai, švarūs tvartai, surenkamieji švarūs kambariai ir švarios spintos.
Švarus suolelis: 1 klasė ~ 100.
Švarus kabina: maža erdvė, apsupta antistatinio skaidraus plastikinio audinio neramių švarių kambarių erdvėje, naudojant nepriklausomus HEPA arba ULPA ir oro kondicionieriaus įrenginius 2,5 metro, o aprėpties plotas yra apie 10m2 ar mažiau. Jis turi keturis stulpus ir juose yra judami ratai, skirti lanksčiai naudoti.
5. Oro srauto srautas
Svarba oro srautas
Švaraus kambario švarą dažnai veikia oro srautas. Kitaip tariant, žmonių, kuriuos sukelia žmonės, mašinų skyriai, pastatų konstrukcijos ir kt., Judėjimas ir sklaidos judėjimas ir sklaida yra kontroliuojami oro srautu.
Švarus kambarys oro ir ULPA naudoja orą filtruoti, o jo dulkių surinkimo greitis siekia net 99,97 ~ 99,99995%, todėl šį filtrą filtruojamas oras, galima sakyti, kad jis yra labai švarus. Tačiau, be žmonių, švaroje patalpoje taip pat yra dulkių šaltinių, tokių kaip mašinos. Kai šios dulkės pasklido, neįmanoma išlaikyti švarios erdvės, todėl norint greitai išleisti susidaro dulkes lauke, reikia naudoti švarų plotą.
Įtakos veiksniai
Yra daugybė veiksnių, turinčių įtakos švaraus kambario oro srautui, pavyzdžiui, proceso įrangai, personalui, švaraus kambario surinkimo medžiagoms, apšvietimo įrenginiams ir kt. Tuo pačiu metu taip pat reikėtų paimti oro srauto nukreipimo tašką virš gamybos įrangos. svarstymas.
Oro srauto nukreipimo taškas ant bendrosios operacinės stalo ar gamybos įrangos paviršiaus turėtų būti nustatytas 2/3 atstumo tarp švarios kambario erdvės ir pertvaros plokštės. Tokiu būdu, kai operatorius dirba, oro srautas gali tekėti iš proceso srities vidinės pusės į operacinę zoną ir atimti dulkes; Jei nukreipimo taškas sukonfigūruotas priešais proceso sritį, jis taps netinkamu oro srauto nukreipimu. Šiuo metu didžioji dalis oro srauto tekės į proceso zonos galą, o operatoriaus operacijos sukeltos dulkės bus nešamos į įrangos užpakalinę dalį, o darbo stalviršis bus užterštas, o derlius neišvengiamai sumažės.
Tokios kliūtys kaip darbo lentelės švariose patalpose sankryžoje turės sūkurių sroves, o šalia jų švara bus palyginti prasta. Gręžiant grįžtamąjį oro skylę ant darbo stalo, sumažės sūkurinės srovės reiškinys; Ar tinkama surinkimo medžiagų parinkimas ir ar įrangos išdėstymas yra tobulas, taip pat yra svarbūs veiksniai, lemiantys, ar oro srautas tampa sūkurine srovės reiškiniu.
6. Švaraus kambario kompozicija
Švaraus kambario sudėtį sudaro šios sistemos (iš kurių nė viena iš jų nėra būtina sistemos molekulėse), kitaip nebus įmanoma suformuoti išsamią ir aukštos kokybės švarų kambarį:
(1) Lubų sistema: įskaitant lubų strypą, „i-pluoštą“ arba „U-sija“, „Lubų tinklelis“ arba „Lubų rėmas“.
(2) Oro kondicionavimo sistema: įskaitant oro kabiną, filtrų sistemą, vėjo malūną ir kt.
(3) Pertvaros siena: įskaitant langus ir duris.
(4) Grindys: įskaitant padidėjusias grindis ar antistatines grindis.
(5) Apšvietimo šviestuvai: LED valymo plokščioji lemputė.
Pagrindinė švaraus kambario struktūra paprastai yra pagaminta iš plieninių strypų arba kaulų cemento, tačiau nesvarbu, kokia struktūra tai yra, ji turi atitikti šias sąlygas:
A. Dėl temperatūros pokyčių ir virpesių įtrūkimų neįvyks;
B. Nelengva gaminti dulkių daleles, todėl dalelėms sunku pritvirtinti;
C. mažas higroskopiškumas;
D. Norint palaikyti drėgmės sąlygas švarioje patalpoje, šiluminė izoliacija turi būti aukšta;
7. Klasifikacija naudojant
Pramoninis švarus kambarys
Nekaltųjų dalelių kontrolė yra objektas. Tai daugiausia kontroliuoja oro dulkių dalelių taršą į darbinį objektą, o vidus paprastai palaiko teigiamą slėgio būseną. Jis tinka tikslioms mašinų pramonei, elektronikos pramonei (puslaidininkiams, integruotoms grandinėms ir kt.), Aviacijos ir kosmoso pramonei, didelio grynumo chemijos pramonei, atominės energijos pramonei, optinių ir magnetinių produktų pramonei (CD, plėvelės, juostos gamyba) LCD (skysti kristalai Stiklas), Kompiuterių standusis diskas, kompiuterio galvutės gamyba ir kitos pramonės šakos.
Biologinis švarus kambarys
Daugiausia kontroliuoja gyvų dalelių (bakterijų) ir negyvų dalelių (dulkių) taršą į darbinį objektą. Tai galima suskirstyti į;
A. Bendrasis biologinis švarus kambarys: daugiausia kontroliuoja mikrobų (bakterijų) objektų taršą. Tuo pačiu metu jos vidinės medžiagos turi sugebėti atlaikyti įvairių sterilizuojančių agentų eroziją, o interjeras paprastai garantuoja teigiamą spaudimą. Iš esmės vidinės medžiagos turi sugebėti atlaikyti įvairius sterilizacijos procedūras pramoninio švarios patalpos. Pavyzdžiai: Farmacijos pramonė, ligoninės (operacinės kambariai, sterilios palatos), maistas, kosmetika, gėrimų gaminių gamyba, gyvūnų laboratorijos, fizinės ir chemijos bandymo laboratorijos, kraujo stotys ir kt.
B. Biologinis saugumas Švarus kambarys: daugiausia kontroliuoja darbinio objekto gyvų dalelių taršą išoriniam pasauliui ir žmonėms. Vidinis slėgis turi būti palaikomas neigiamai, atsižvelgiant į atmosferą. Pavyzdžiai: bakteriologija, biologija, švarios laboratorijos, fizinė inžinerija (rekombinantiniai genai, vakcinų paruošimas)
Pašto laikas: 2012-07-07